拡散接合

セラミックスや高融点金属に求められる加工形状は年々、高精度かつ複雑になってきています。これらはいずれも、装置の高性能化のために必要不可欠であることが知られています。弊社では、そのような高性能化のニーズに応える技術として、従来の精密加工に加えて「拡散接合」に注目し、開発を行なっております。

直接接合のため接着剤やロウ付とは異なり、耐熱性や線膨張係数の差といった心配が不要となります。また、冷却液やガスを通す内部流路の形成も容易となり、これまでにない形状の設計、アイデアに貢献します。弊社がこれまでに築いてきた精密加工の技術と新たに導入した接合技術を組み合わせることで、これまで実現が難しかった形状を達成し、お客様の技術的な課題解決に貢献します。

素材
接合実績あり：モリブデン、ニッケル、石英ガラス、SiSiC、アルミナ、柱状晶シリコン
※同種素材同士の接合です
※上記以外のセラミックス、金属素材についても接合技術を開発中です。

Heリーク目標値
1.0×10-⁹[Pa・m3/sec]以下、上記接合実績の素材において、テストピースにて達成しています
(Heリークディテクター導入済み、1.0×10-¹¹[Pa・m3/sec]台まで測定可能)