半導体製造工程の品質向上に

気圧/温度/湿度の正確で安定した計測によって、精密空調や装置能力を大幅に向上させることができます。半導体製造工程や機器の仕様には、高度な空調管理と製造環境に関する正確なデータが求められ、精度の高い管理技術によって、より微細な回路パターンの高精度かつ高速な加工が可能になります。

気圧、湿度、温度の3要素を一台の一体型変換器で計測

独自に開発されたヴァイサラPTU300は、3つの重要なパラメータを同時に計測します。その抜群の正確さは、レーザー干渉計補正に最適です。

プロセスガスラインの品質モニタリング

ヴァイサラDMT340シリーズは、プロセスガスライン（N2および圧縮空気）のモニタリング向けに高精度の計測オプションを提供します。