新製品の光学式三次元形状測定器である Micro.View および Micro.View+ は、2.5 倍から 100 倍の対物レンズを使い分けることによって、測定視野および xy 方向 (水平方向) の分解能を柔軟に設定することができます。
z方向 (垂直方向) については、CST (continuous scanning technology) によって100 mm の測定レンジを持ち、複雑な形状をナノメートルの分解能で測定することができます。
また、Micro.View+ は新機能であるフォーカスファインダおよびフォーカストラッカを使うことによって、測定の効率を大きく改善します。

Xperts inside! Next generation optical surface metrology

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