MSA-600マイクロシステムアナライザに搭載されてい る高性能レーザドップラ振動計は、サブpmの変位分解 能で高速かつリアルタイムの応答測定を実現します。またストロボスコープ ビデオマイクロスコープは、面内運動の簡単な特性評価とライブアニメーションを可能にします。さらに、白色光干渉計オプションは、数百万の3D表面データを数秒で提供します。すべての測定は、直感的なユーザインタフェースによって簡単に操作できます。

マイクロデバイスの特性評価

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