安定した直流プラズマの高温により、難分解性のPFCガス（SF6、CF4等）【半導体製造やFPDの製造工程のエッチングや洗浄に使う代替フロンガス】も分解除去します。

特長

●燃料配管施工によるイニシャルコストや、燃料のランニングコストが不要。
●直流大気圧プラズマ使用で安定放電が可能なため、失火の恐れがありません。また、安全な電気を用いているため安心です。
●反応槽及びプラズマ発生部分はシンプルな構造の為、メンテナンスがしやすく低コストを実現。
●電気と水だけで、CF4、SF6のようなPFCガスと、HBr、CL2、BCl3のようなハロゲンガスを同時に処理することが可能です。