サイクロトロン、バンデグラフといった加速器を保有し、イオンビームを活用したさまざまなサービスを展開しています。

サービス内容

▶︎半導体ウエハへのイオン照射（IIS)
▶︎ 薄層放射化磨耗測定（RTM）
▶︎ 中性子ラジオグラフィ撮影（NRT）
▶︎荷電粒子放射化分析（CPAA）

IIS 半導体ウエハへのイオン照射

サイリスタ、ダイオード、パワートランジスタなどのウエハにイオン照射を行い、局所的に欠陥層やドナー層を生成することによって電気特性を向上させます。
ライフタイムコントロール
パワー半導体内部に水素やヘリウムのイオンを照射することで、半導体中のキャリアを消失させる効果のある格子欠陥を生成。その結果、スイッチングスピードを高速化させるタイムコントロールが行え、かつリカバリー時のノイズの低減も可能になります。
適用例水素イオン注入によるn層形成
数MeVに加速された水素イオンを注入後に熱処理することで、局所的に濃度の高いn層を形成できます。薄型化が進むパワー半導体の短絡耐量改善やリカバリー波形のソフト化に有効です。

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