ステンレスの表面改質により、最表層に欠陥のない緻密なCr2O3膜を形成します。
フッ酸や塩酸などのハロゲンガスに対して優れた耐腐食性能が得られ、真空特性も向上します。
ステンレスの表面を改質することにより、今までのステンレスの常識とは違う、様々な現象が解明されてきています。
今後水素インフラや超高真空の分野においても期待される技術です。

【目的】
腐食対策、メタルコンタミ対策、低放出ガス
【用途】
一次側配管、バルブ・MFC・レギュレータ等のパーツ類、チャンバー、チャンバー回りパーツ類