最大成膜エリア400mmΦ・315mm□！スパッタリングによる各種薄膜の成膜

各種金属材料、酸化膜材料等の受託成膜を行っており、特にプラスチック基板上への成膜を得意としております。

通常納期は1週間程度で、ご要望によりパターン成膜も可能。

まずは成膜したい材料、用いる基材をお知らせください。
お客様のご要望をもとに、前処理条件、成膜条件、膜厚等を決定いたします。

可能な基材

■ガラス
■金属
■セラミック
■Siウエハー
■各種プラスチック材料