マスフローコントローラ/メータ

流体の特性を利用して流量信号を得る質量流量計のうち、測定原理による分類では、熱線式(サーマル式)とコリオリ式がある。マスフローメータは、これらの測定原理を利用し、測定した結果を電気信号へ変換して出力します。さらに、マスフローメータとコントロールバルブを組み合わせてフィードバック制御を行い、流量制御を可能にしたものをマスフローコントローラと呼びます。

コリオリ式マスフローコントローラ/メーター

コリオリ式は、「コリオリの原理」を用いた方式のもので、大流量プロセスに広く使われていましたが、近年ではセンシングと統合された制御原理が小流量域の市場にも受け入れられています。主な用途として、液体向けに使用されます。

MEMSセンサ式マスフローコントローラ/メーター

MEMSセンサ式は、従来のサーマルセンサをベースに開発されたもので、応答性に優れています。新開発されたBrooks MEMS(Micro Electro Mechanical System) センサは、極めて高速な応答性を実現し、応答速度300msを実現します。